该厂为8厘米晶圆研发线配套方案的超注射用水系统化,没天发生含硅焦化废水150吨。焦化废清水中虽无巨资属,但硅纯度高易结渣,且功率电阻率需高于18MΩ·cm就能回收利用。原始外理工学艺时未够满足新发布的《电子器材企业水感染物污染物标》(GB39731-2020)独特污染物卫生防护距离。
污水组分特色
首要被污染的物
:橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(颗粒直径0.1-1μm)
特种符合要求
:TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L
地表水性质
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物特征复杂的
解决加工过程标准流程
创新性采用了"梯级膜分離+电去亚铁离子"整合工艺设备:
微滤预治理
:1μm卫浴陶瓷膜电话拦截大粒状硅,通量确保80LMH
阴离子变换树脂胶
:D201大孔硅胶粘合剂决定性吸出硅酸氧分子
五级RO系统软件
:首个段二手回成品率60%,第二点段分为高脱硼膜元器件封装
EDI电去铁离子
:电压体积密度2A/m²,持续不断删去残余物铁离子
分光光度计杀菌的
:254nmUV紫外线使用量40mJ/cm²
技术设备亮点纷呈
发展上用阻硅剂(有机化学胺类组合物),延迟膜被污染过渡期3倍
EDI电源模块企业创新流道的设计,硅清除率加强至99.8%
免费在线硅分析一下仪(测定标准0.1-500μg/L)保证精准脱贫保持
工作工作成效
经再次方检侧:
总硅从280mg/L降到0.05mg/L
硼含磷量从8μg/L调至0.3μg/L
软件收回率从原40%增加至68%
膜更改周期时间延缓至5年,年运转人工成本大幅度降低35%