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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆研发线配套方案的超注射用水系统化,没天发生含硅焦化废水150吨。焦化废清水中虽无巨资属,但硅纯度高易结渣,且功率电阻率需高于18MΩ·cm就能回收利用。原始外理工学艺时未够满足新发布的《电子器材企业水感染物污染物标》(GB39731-2020)独特污染物卫生防护距离。 污水组分特色 首要被污染的物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(颗粒直径0.1-1μm) 特种符合要求 :TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L 地表水性质 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物特征复杂的 解决加工过程标准流程 创新性采用了"梯级膜分離+电去亚铁离子"整合工艺设备: 微滤预治理 :1μm卫浴陶瓷膜电话拦截大粒状硅,通量确保80LMH 阴离子变换树脂胶 :D201大孔硅胶粘合剂决定性吸出硅酸氧分子 五级RO系统软件 :首个段二手回成品率60%,第二点段分为高脱硼膜元器件封装 EDI电去铁离子 :电压体积密度2A/m²,持续不断删去残余物铁离子 分光光度计杀菌的 :254nmUV紫外线使用量40mJ/cm² 技术设备亮点纷呈 发展上用阻硅剂(有机化学胺类组合物),延迟膜被污染过渡期3倍 EDI电源模块企业创新流道的设计,硅清除率加强至99.8% 免费在线硅分析一下仪(测定标准0.1-500μg/L)保证精准脱贫保持 工作工作成效 经再次方检侧: 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L调至0.3μg/L 软件收回率从原40%增加至68% 膜更改周期时间延缓至5年,年运转人工成本大幅度降低35%

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