某光电器件制造技术企业的因晶圆洗掉环节带来含氨废渣，用水量200吨/天。废渣中除氟化物外还内含氟化物和进样器天价属，治理 分值大。本地产生标准想要氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理工艺组分及种类 晶圆擦拭工业废水（重点因素）：含氧化还原电位200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工步污废水 ：含微量分析铜、镍等高价属，pH值波动性大 CMP碾磨废水处理工艺：含硅小粒及化学需氧量 正确处理工艺设备步骤 主要采用"化学上的悠长岁月中+膜剥离 +折点氯化"结合工艺技术： 预清理 ：添加CaCl2除氟，设定pH在7.5-8. 反渗透装置程序 ：我们要除0.01μm以下颗料物 反渗透装置法精提 ：将化学需氧量精浓至1000mg/L不低于 折点氯化 ：准确掌握氯加药量，将化学需氧量图片转换为氦气 阳离子互换 ：有效保障了天价属合格 终于目的 氧化还原电位增强＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 巨资属分子量超过的检测限 水回收利用率达75% 飞灰引发量降低40%