半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体行业顶级测封搭配涉重废水处理工艺——MVR强硬重复零排的项目
项目流程后台
半导体行业技术中高端首测创业品牌,人数150立米米/天,是首条半导体行业技术首测生活配套涉重废液零排创业品牌。首测阶段的镀镍、镀铜、引线框架的清洁工作会产生了含镍含铜废液,园区规划必须"无尾水外排",产水所有中水回用于产线。
水质监测基本特征与薄弱点
生产废水以含镍主(酸度10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH下降大(2–12),另外 光刻胶残余物的几瓶巧妙物。公测厂现场紧,规定处置配套设施征地赔偿小;零排表明着浓水不要土石方工程不少,都要当地蒸馏结晶体开环。
操作艺线路
整体结构走"分质回收 → 预处里除杂 → 检查是否沉定除镍 → 净化 → UF+二级RO → MVR强硬间歇减压蒸馏 → 冷凝剂水回收":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢阳极氧化物钠合成Ni(OH)₂沉垫,加个硫化橡胶橡胶钠纵深收集多余镍(硫化橡胶橡胶镍Ksp比氢阳极氧化物镍更小,能让镍压到0.1毫克/升下);
积累出水出水经多媒介油烟净化器+联防队员油烟净化器后进UF,再进一层RO,产水之间回产线擦拭;
RO浓水(含盐+残留巨资属)进MVR强迫无限无限循环多效真空泵,强迫无限无限循环能扛高含盐水垢,多效真空泵原有在线免费清洁,后易堵;
MVR蒸汽加热水返回造纸废水处理养鱼池,减压蒸馏残液委外焚烧处理或做为危废处理防范,所有场区无液体外排。
关健生产设备的优点原因分析
MVR直接重复相对来说高级降膜蒸馏,重复气速高、传热系数面很不容易结镍盐/碳酸盐垢,可以公测这一"容量不是很大但水源杂"的场合;一身化撬装结构设计占地赔偿比传统文化蒸馏塘+多效蒸馏方法小60%这些;臭味侧配置动物滤池,把调池和废水间的臭味分类整理后溶解成CO₂和水,制止公测厂相邻办公场地区的气味投拆。
治理 成果与高效益
冒水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相对比较《电渡废弃物物释放条件》表三;全部都150万立米/天产水工业废水处理于公测产线洗,换用等量鲜美水;危险废弃物(蒸发器残液+活性污泥)量比一般"沉淀出的+释放"策略减约70%。对富士康侧,公测内容坏保审批卡点被揍通;